報道関係の方へ

■第21回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展　プレスリリース

・【結果速報】『マイクロマシン／MEMS展』、『ROBOTECH』、『SURTECH』大盛況のうちに閉幕！
昨年を上回る14,040名が来場！三展示会同時開催で意義ある成果が！
　（2010年8月2日発行　PDF129.0KB）

・『マイクロマシン／MEMS展』、『ROBOTECH』、『SURTECH』の3見本市が、
2010年7月に東京ビッグサイトにて同時開催！
　（2010年5月28日発行　PDF220.0KB）

・前回開催結果速報【結果速報】盛況裏に閉幕した第20回マイクロマシン／MEMS展！
来年の次世代ロボットに関する製造技術展「ROBOTECH」併催にも期待の声！
　（2009年8月5日発行　PDF34.0KB）

・台湾工業技術研究院(ITRI)
工業技術研究院、台湾最先端のMEMS技術発表
　 (2010年7月28日発行)

・台湾工業技術研究院(ITRI)
小型、ローコスト、高性能のMEMSを応用し、マイクロマシン市場のビジネスチャンスをつかみ取ります
　 (2010年7月13日発行)

・カリフォルニア大学バークレー・センサ&アクチュエータ・センター
NSF、エレクトロニクスの消費電力上昇を抑制する研究センターに2450万ドルを拠出
　 (2010年6月23日発行)

・カリフォルニア大学バークレー・センサ&アクチュエータ・センター
UCバークレーの研究者、"スマート服"の実現に道を開く発電ナノファイバーを開発
　 (2010年5月28日発行)

・（株）ナノシステムソリューションズ
DMDを用いたグレースケールスキャニング露光装置（世界初）
　(2010年5月25日発行)

・コヒレント・ジャパン(株)
小型　高繰返し2kHz　エキシマレーザをリリース
　(2010年5月14日発行)

・（株）SIJテクノロジ
世界最少吐出量のサブフェムトインクジェット加工装置
　 (2010年5月1日発行)

・エア・ブラウン（株）
エア・ブラウン株式会社は第21回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展において、Advanced Diamond Technologies社のUNCD®ウェハーを初出展いたします！
　 (2010年5月発行)

・（株）化繊ノズル製作所
世界へ　一歩先を行く超高精度、超精密加工技術
　 (2010年5月発行)

・北九州市立大学
スマートフォンやノートパソコンに外付けできる無線バイオセンサ端末の開発と専用センサチップの量産化を実現
　 (2010年5月発行)

・(株)タカトリ
MEMS対応　フルオートDFR（ドライフィルムレジスト）貼付装置
　 (2010年5月発行)

・（株）テックサイエンス
テックサイエンスの業界初の表面評価技術
　 (2010年5月発行)

・浜松ホトニクス（株）
Si+Si、Si+ガラスなど各種貼り合わせウェーハにおいても高速、ドライプロセスでのダイシングが可能
　 (2010年5月5発行)

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