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ＭＥＭＳとは？産業のマメ「産業のマメ」ともいわれる微小なデバイス／システムのこと
半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基盤上に組み込んだデバイス／システム（センサ、アクチュエーター等）。
MEMSは、Micro Electro Mechanical Systemsの略で、半導体製造技術やレーザー加工技術等、各種の微細加工技術を応用し、微小な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだセンサ、アクチュエータ等のデバイス/システムのことを指します。 MEMSは各種の最終製品に組み込まれ高付加価値化のキーデバイスとなっており、最近では産業のマメと言われています。 開発・製品例としては、光通信分野などで用いられる光スイッチ用ミラーデバイス、原子間力顕微鏡に用いられるカンチレバー、また自動車用部品などに用いられる圧力センサ、加速度センサ、さらには無線通信機器などに用いられるＲＦ（Radio Frequency：高周波）ＭＥＭＳスイッチなどがあります。 MEMSが産業のマメと称されるのは、体は小さいもののMEMSを組み込んだ製品に素晴らしい効用・機能を与える活力源となっていること、多くの種類のMEMSデバイスがあること、MEMSの応用製品が多岐にわたることに由来しています。 MEMSの特長1
MEMSは主に半導体微細加工（一括加工）技術を用いて作りますので超小型で、非常に高精度・高品質な機構部品が得られるという特長があります。また、ひとつの部品を作るのと同じ手間と時間で沢山の構造を同時に作りこむことができ大量生産による低コスト化も可能となります。 また、MEMSは一つの基板にセンサや信号回路、アクチュエータなどが搭載された３次元の構造体であり、入出力が電気信号以外にエネルギーや機械変位、物理量など、多岐多様に亘ることも大きな特長と言えます。 MEMSの特長2
またMEMSには「微小化」、「並列化」、「集積化」といった特長もあります。 また、同じセンサやアクチュエータなどの要素をたくさん並べ協働させることで、ひとつの要素では得られない高機能・高性能を引き出すこともできます。 さらには、センサ、電子回路、アクチュエータなどの異なった部品を集積化することができ、賢いデバイスとなります。 |
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※出典・取材協力：（財）マイクロマシンセンター |
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