マイクロナノ分野（マイクロマシン、MEMS等）、ロボット製造技術分野の産業交流を推進するため、見本市会期中に連日各種カンファレンスを開催いたします。技術の高度化・製品普及・産学の連携を強化していきます。

MEMS製造

●薄膜形成装置（蒸着・スパッタ・CVD・メッキ）●露光・描画装置●レジスト処理装置●エッチング装置●接合装置●精密研削研磨加工・CMP装置●ダイシング装置●レーザ加工装置●実装・パッケージング装置●微細成形装置（射出、ホットエンボス）●クリーンルーム・関連製品●真空チャンバー・真空ポンプ●その他製造装置用関連装置　他

ナノインプリント

●マイクロ・ナノ金型●ナノインプリント製造装置　他

ナノ加工・超精密・微細加工技術

●超精密ナノ加工●エッチング●接合●微細穴加工●表面処理●精密研削研磨加工・CMP●ダイシング●レーザ加工●イオンビーム加工●微小放電加工●超音波加工●実装・パッケージング　他

計測・検査・信頼性評価

●外観検査装置●形状・粗さ・膜厚測定器●光学顕微鏡●電子顕微鏡（SEM、X線分析）●レーザ顕微鏡●プローブ顕微鏡（STM、AFM等）●オージェ電子分光装置●X線光電子分光装置●信頼性評価装置・試験機（熱サイクル試験機、PCT、HAST等）●プローバ●リーク試験装置●レーザドップラ振動計●各種液体・ガス用計測機器●その他分析用機器　他

MEMSファンドリーサービス

●設計・シミュレーション●検証・試作●製品開発●量産●薄膜形成●エッチング●研削、研磨、CMP、ダイシング●レーザ加工●その他の受託加工サービス　他

MEMS材料

●圧電材料（ZnO、AIN、PZT）●強誘電体●磁性材料●シリコン・SOI基板●ガラス・水晶基板●SiC基板●サファイヤ基板●レジスト材料●ポリマー●貼付材●保護材●ナノチューブ●セラミック・LTCC実装基板●貫通電極基板●パッケージ　他

MEMS設計ツール

●設計ツール●シミュレータ●CAD・CAE解析ソフト　他

MEMSデバイス

●センサMEMS（加速度、角速度、圧力、ガス、温度　等）●光MEMS（ミラー、スイッチ、スキャナ　等）●RF-MEMS（スイッチ、発振器、フィルタ　等）●流体MEMS（マイクロ流路、ミキサ　等）●アクチュエータMEMS（バルブ、ポンプ　等）●マイクロフォン（ECM）●パワーMEMS（燃料電池、小型発電機、エナジーハーベスタ）●バイオ・化学MEMS（DNA/RNAチップ　等）●集積化MEMS（CMOS/LSI融合デバイス）●マイクロロボット　他

バイオ・医療関連システム

●カプセル内視鏡●DDS●ナノカプセル●マイクロリアクタ・マイクロTAS●化学物質検査装置●医用・医療応用機器　他

MEMS応用システム

●情報処理システム（携帯端末、ディスプレイ、プリンタ　等）●微小ロボット・マシン●マイクロファクトリー●センサネットワーク　他

センサ・アクチュエータなどのデバイス

●視覚センサ（CCDカメラ、CMOSカメラ）●レーザーレンジファインダ●超音波センサ●角度センサ●加速度センサ●ジャイロセンサ●圧力センサ●赤外線センサ●聴覚センサ（マイクロフォン）●触覚センサ●圧覚センサ●人感センサ●近接覚センサ●筋電位センサ●脳磁センサ●変位センサ●エンコーダ●ポテンショメータ●レゾルバ●歪ゲージ　他

機構部品・装置・関連機器

評価・計測・検査機器／システム

情報通信技術・機器・ソフトウェア技術

エネルギー、バッテリー技術

●リチウムイオン電池●燃料電池●太陽電池●省電力技術　他

材料

●形状記憶合金●水素吸蔵合金●メカノケミカル材料●炭素繊維（カーボン）●ポリフッ化ビニリデン（PVDF）●人工皮膚●樹脂（プラスチック）●ガラス繊維●ゴム系素材　他

研究用ロボット・教材等

●実験・研究用ロボット●教材用ロボット●書籍●スクール

製造・加工関連技術

●超精密・微細加工●切削●研削●穴あけ●研磨●塗布●めっき●表面処理　他

受託開発・コンサルティング

●システムインテグレーション●ロボット・ビジネス・コンサルティング●ロボットデザイン●ロボット製作相談●受託開発・加工　他

1990年に「第1回産業用マイクロマシン展」として開催されて以来、マイクロマシン・MEMSの発展とともに成長し、世界最大規模の専門見本市となっています。センサやミラー・スイッチなどの製造に関係するMEMS分野のほか、医療・バイオに応用されるマイクロ流路、マイクロマシンなど、幅広い分野を対象にしており、国内外の技術関係系企業から多数の来場を集めています。

MEMSデバイス＝センサの応用分野である次世代ロボット（サービスロボット）の実用化、高機能化を支える要素技術を集めた見本市です。少子高齢化時代における介護や、危険・不快な作業を担うサービスロボットは、自動車に次ぐ新たな成長分野として、世界各国で実用化が強力に推進されています。第3回ROBOTECHはセンサやモーター、アクチュエーターなどのほか、画像認識・画像処理、情報通信技術などIT分野との融合も進め、これからの豊かな社会づくりに貢献いたします。